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SEM不能测磁性样品?看完你就知道了
加入日期:2022-12-26 21:39:24     字体大小:       

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一、透镜跟样品台很关键

磁性到底影响不影响测试,主要取决于透镜的构造本身,也就是样品台到底在不在透镜当中。根据样品台是不是在透镜磁场中,扫描电镜会分为【内透镜】【半内透镜】和【外透镜】。

二、测试的原理和技术层面

从原理上,对于内透镜和半内透镜而言,由于样品浸没在磁场中,因此磁性样品可能会受到调制电子束的磁场影响而离开样品台,打在透镜上,轻则有可能影响未来设备的成像效果(电子束无法很好聚焦),重则可能打坏透镜极靴,因此对于大多数内透镜和半内透镜(例如日立的S-4800属于典型的半内透镜),仪器管理员是不会允许测试磁性样品的。而外透镜的样品台完全在磁场外,因此可以测量磁性样品。


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在技术上说,并不是内透镜和半内透镜就一定不能测,外透镜就一定可以测。小部分半内透镜和内透镜的样品台安装有消磁装置,也可以测试。而有一部分外透镜由于设备老化等原因可能有漏磁现象,测试磁性粉末仍然有一定风险。

三、一点建议

总而言之,测试磁性样品(泡沫镍、四氧化三铁粉末等)应当先征得仪器管理员的同意,并且在实验中遵守实验的规范。对粉体,尽量将干燥样品粘在导电胶上测试,而不建议采用滴加在硅片载体上等方法,并且在制样完成后用较大的惰性气流(例如高纯氮)进行充分吹扫;对块体(例如泡沫镍样品)的制样,在粘牢后,还需在泡沫镍四周用导电胶带固定、在操作规程允许的范围内适当降低测试电压、提高工作距离等(具体操作建议请参考贵单位的仪器管理员)。


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