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单面单工位分体式手套箱
所属分类:电子半导体方案

手套箱是一套高性能、高品质的自动吸收水、氧分子,纯化工作环境的密闭循环工作系统,提供可以满足您特定清洁要求应用的1ppm的O2和H2O惰性的氛围环境。该系统是为满足客户科研开发而设计的经济型循环净化系统。系统包括一台密闭箱体、一套过渡舱,一台旋片式真空泵和一套集成有微控制器操作面板的循环净化系统。详细的技术方案致电或微信:19829651059

产品介绍

1.配件清单

序号配件名数量单位配件图片
1KF40卡箍4KF卡箍.jpg
2KF25卡箍3KF卡箍.jpg
3KF40波纹管2 KF波纹管 (2).jpg
4KF25波纹管1KF波纹管 (2).jpg
5手套2 手套.jpg
6手套密封圈4手套密封圈.jpg
7爱德华真空泵1 爱德华RV12真空泵.jpg
8油雾过滤器1 EMF16油雾过滤器.jpg
9水分析仪1 水分析500.jpg
10氧分析仪1 氧分析仪Z100.jpg
11说明书1 手套箱说明书.jpg
12合格证1 

2.技术参数

箱体
描述

材料:不锈钢1.4301 (SUS type 304), 厚度 3 mm

尺寸: 1200mm(L) x 750mm(W) x 900mm(H)

体积0.8 m³
前窗

面板:8 mm厚安全钢化玻璃  或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供选择)

尺寸:1123mm(L) x 839mm(H)

手套口

硬铝合金材质或聚甲醛材料 (可供选择)

口径 220 mm, O型圈密封

手套

材料:丁基橡胶

厚度: 0.4 mm 或 0.8mm(可供选择)

过滤器出口和入口过滤器,过滤<0.3μm
照明LED照明位于前窗顶上部
泄漏率

检漏依据 ISO 10648-2 :1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分:密封性分级以及相关的检验方法》中的含氧法和压力变化法对箱体进行检测,按照一级密封性< 0.001 vol%/h的标准进行最终验收测试。

GP20气体净化系统
描述

自动去除 H2O 和 O2

单净化柱系统,自动再生(可选GP200双净化柱)

密闭的气体循环管路

使用电压AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A 或AC 115 V / 50-60 Hz, 20 A (可供选择)
工作气体

工作气:N2、Ar 、He(纯度≥99.999%)

再生气:H2占5%—10%,其余的为工作气(纯度≥99.999%)

真空泵

规格:旋片真空泵,  配带油雾过滤器, 带气镇控制

流量:12 m³/h (7 cfm), 双基片,真空度< 2 x 10-3 mbar  或干泵(可供选择)

循环单元

无油高速风机

风量:80 m³/h

阀门KF40 高真空阀门
泄漏率

检漏依据 ISO 10648-2 :1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分:密封性分级以及相关的检验方法》中的含氧法和压力变化法对箱体进行检测,按照1级密封性< 0.001 vol%/h的标准进行最终验收测试。

控制柜尺寸

600mm(L) x 800mm(D) x 870mm(H)

过渡舱

大过渡舱

材料

不锈钢 type 304 (1.4301), 厚度 3 mm

尺寸φ360mmx600mm(L) 或φ390mmx600mm(L)(可供选择)

真空度

< 1 x 10-2 mbar

小过渡舱

材料

不锈钢 type 304 (1.4301), 厚度 2 mm

尺寸φ150mm x 330mm(L)

真空度

< 1 x 10-2 mbar

清洗系统
描述设置好相应时间和压力,系统可以对箱体自动进行气体置换。

分析仪

氧气分析仪

尺寸

205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H)

测量范围

0-1000 ppm

其他氧分析仪

GE oxy.IQ™ Oxygen Transmitter

水分分析仪

尺寸

205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H)

测量范围

0-500 ppm

其他水分析仪

GE VeriDri™ Dew-Point Transmitter

溶剂净化系统

描述

材料: 不锈钢1.4301 (SUS type 304), 厚度 3 mm

内部尺寸: 220mm(Φ) x 450mm(H)

优质活性炭