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经济型智能旋涂仪/匀胶机12AC
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陕西毅杰推出新一代智能触屏实验室匀胶机,主打性价比,六大优势,高工艺,高标准,采用实用的设计理念,配合精密的运动控制系统,可以实现高精度、高均匀度的匀胶操作。设计小巧,适合安装在手套箱,通风橱等特定环境中。可放手套箱,年涂片可达10000片;转速:100-7000R;5段自定义程序;基片尺寸:5-100mm;多种吸盘可选;运行参数如转速、转动时间可实时显示。详细技术方案可咨询:19829651059

产品介绍

file工作原理

匀胶过程包括滴胶,高速旋转以及干燥(溶剂挥发)几个步骤;

1.静态滴胶

就是简单地把光刻胶滴注到静止的基片表面的中心,滴胶量为1-10ml不等,滴胶的多少应根据光刻胶的粘度和基片的大小来确定。粘度比较高和/或基片比较大,往往需要滴较多的胶,以保证在高速旋转阶段整个基片上都涂到胶;

2.动态滴胶

这种方式是在基片低速(通常在500转/分左右)旋转的同时进行滴胶,“动态”的作用是让光刻胶容易在基片上铺展开,减少光刻胶的浪费,采用动态滴胶不需要很多光刻胶就能润湿(铺展覆盖)整个基片表面。尤其是当光刻胶或基片本身润湿性不好的情况下,动态滴胶尤其适用,不会产生针孔.

3.滴胶之后,下一步是高速旋转

使光刻胶层变薄达到最终要求的膜厚,这个阶段的转速一般在1500-6000转/分,转速的选定同样要看光刻胶的性能(包括粘度,溶剂挥发速度,固体含量以及表面张力等)以及基片的大小。快速旋转的时间可以从10秒到几分钟。匀胶的转速以及匀胶时间往往能决定最终胶膜的厚度。

一般来说,匀胶转速快,时间长,膜厚就薄。影响匀胶过程的可变因素很多,这些因素在匀胶时往往相互抵销并趋于平衡。所以最好给予匀胶过程以足够的时间,让诸多影响因素达到平衡。

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